11月30日消息，近日，合肥微睿光电科技有限公司完成由三行资本与石溪资本联合领投，元禾辰坤、燕创资本等多家机构参与的数亿元B轮融资。
中国泛半导体产能仍处于扩张周期，京东方、华星等客户都有一座以上LCD工厂的新建或大规模扩产计划;OLED工厂产能快速释放，普遍采用7-MASK工艺，对腔室部件的需求量进一步提升;SEMI预计到2022年全球将新建29座晶圆厂，超过一半将位于中国。
CVD、PVD、Dry机台是泛半导体的主工艺设备，腔室内部件需要周期性的维护再生和新品采购，包括上下部电极、Diffuser、Susceptor、Shadow Frame、Backing Plate等等，涉及工艺包括阳极氧化、陶瓷coating等等，对成膜均匀度、厚度一致性等有非常高的要求，长期以来受制于设备原厂和传统外资配套厂商的制约。
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