彤程新材:拟6.98亿元投建ArF高端光刻胶研发平台项目

8月17日,极客网了解到,A股公司彤程新材(603650.SH)全资子公司对外投资项目。

根据公司发展战略,进一步深化公司在电子材料领域的业务布局,弥补国内光刻胶技术与全球先进水平的差距,研究ArF光刻胶,特别是193nm湿法光刻胶的工业化生产技术,确定193nm光刻胶工程化放大技术、标准的生产流程及质量管控体系,研发生产光刻胶高端产品。

公司从实际生产经营需求出发,决定通过公司全资子公司-上海彤程电子材料有限公司(以下简称“彤程电子”)在上海化学工业区内使用自筹资金人民币6.9853亿元,投资建设“ArF高端光刻胶研发平台建设项目”,项目预计于2023年末建设完成。

彤程电子表示,项目主要研究ArF湿法光刻胶工业化生产技术开发,通过建立标准化的生产及控制流程,提升高端光刻胶的质量控制水平,实现193nm湿法光刻胶量产生产;同时,逐步建立先进的集成电路及配套材料开发与应用评价平台。

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2021-08-17
彤程新材:拟6.98亿元投建ArF高端光刻胶研发平台项目
彤程新材(603650.SH)决定通过公司全资子公司-上海彤程电子材料有限公司(以下简称“彤程电子”)在上海化学工业区内使用自筹资金人民币6.9853亿元。

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