近年来,智能化设备的持续发展,使得市场的应用也越来越广,在各行业的深入应用下,其也对智能化设备提出了全新的要求,比如在功能方面,企业对智能化设备的要求越来越细致,希望其能实现的效果更加严谨。以行业知名品牌海康机器人为例,其设备上搭载的传统2D视觉检测系统就难以满足一些特定检测需求,比如光伏产业链上游的硅棒直径检测,中游的硅片位置度(搭边)检测、分选机应用等。这就要求海康机器人需要不断地创新设备,以满足市场提出的新要求。
为此,海康机器人打造出了3D激光轮廓传感器,以满足光伏行业硅片位置度(搭边)检测。
所谓的搭边检测,指的是硅片在PECVD和PVD工艺段中,需要放置到载具中进行上下料,载具尺寸与硅片尺寸需刚好适配,若硅片位置发生偏移,则会出现边角部位遮盖在载具边缘的情况,即为“搭边”,如果发生“搭边”情况,在后续镀膜时会导致硅片绕镀或破裂。为规避该风险,在PECVD和PVD镀膜上下料时需要对“搭边”硅片进行检出。这对于产品的品质有着极为重要的作用。海康机器人的VM 3D软件方案中,就针对搭边缺陷检测植入了相应的内容。其基于对相机采集的深度图像,导入VM 3D软件中,依据mark点定位到每个料盘的四个角点,分别在角点料坑上下曲小区域计算均值,可取四对或八对区域,比对料坑上下高度差值,正值为OK(绿色非搭边框),负值为NG(红色搭边框)。
针对叠片和碎片缺陷检测,海康机器人VM 3D软件中,深度图像分别定位到每个硅片位置,统计每个硅片位置ROI内平面度,根据平面度情况判断硅片是否存在破碎和叠片。
通过对各种细节的深入洞察,光伏行业搭边检测可能遇到的硅片高反光材质和载具漫反射材质共存,相机动态范围要求高;载具多次过炉后会出现颜色变化,视觉需兼容被测物颜色变化;载具尺寸大且存在变形,硅片与载具成像对比度不明显;载具移动速度快,相机帧率要求高等难点,都在海康机器人的3D相机功能中进行了弥补,使得产品能够更好的为行业服务。
自成立以来,海康机器人就十分专注打造对市场的洞察,相信在接下来的发展过程中,海康机器人依旧能够不断创新,为更多行业提供值得信赖的产品。
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